SEMI-e看点速览｜广明源172nm MINI实验模组首秀亮相

6月4-6日，广明源将参展2025 SEMI-e 中国（深圳）国际半导体(bàndǎotǐ)展览会，诚邀行业伙伴(huǒbàn)莅临14号馆14G22展位，现场交流172nm准分子光科技在半导体制造中的创新(chuàngxīn)应用，共探制程优化新路径(lùjìng)。 172nm MINI实验(shíyàn)模组 新品首发 本次(běncì)展会，广明源将首发推出自主研发的新品——172nm MINI实验模组。该产品专(zhuān)为半导体工艺研发、制程验证及小批量试产环节设计，具备结构精简、成本可控、桌面即放即用、便携灵活等特点(tèdiǎn)，适配多种实验环境(huánjìng)与制程需求。 172nm 深紫外黑科技(kējì) 可高效分解晶圆表面(biǎomiàn)有机残留，提升洁净度与附着性能，为封装、清洗等工艺(gōngyì)提供稳定前处理方案。 极简结构，桌面(zhuōmiàn)级准分子实验新体验 由于传统准分子光辐照器因高纯度 N₂填充结构复杂，难以实现桌面级灵活实验。广明源创新推出紧凑台式准分子光照射器——172nm MINI实验模组，机身(jīshēn)仅相当于书本大小，采用高集成轻量化设计，打破空间与(yǔ)成本壁垒，助力高校、企业及研究(yánjiū)机构轻松搭建准分子光实验环境(huánjìng)，满足平板(píngbǎn)显示光清洗(qīngxǐ)、塑料表面改性等多领域研发需求。 封装(fēngzhuāng)工艺表面清洁处理 超净化超微细清洗工艺验证(yànzhèng) 172nm 系列全线亮相共襄盛会(shènghuì) 除新品发布外，广明源还将展出多款172nm准分子(zhǔnfènzǐ)系列光源与模组产品，覆盖晶圆清洗、半导体基材表面活化、超纯水(chāochúnshuǐ)TOC降解等多个关键工艺环节，为制程优化(yōuhuà)与设备升级提供更多选择。 172nm准分子(zhǔnfènzǐ)系列光源 172nm准分子系列模组及设备(shèbèi) SEMI-e 2025 ，诚邀莅临(lìlín) 欢迎半导体制造企业(qǐyè)、设备厂商、工艺研发工程师及行业伙伴莅临(lìlín)参观交流，现场了解172nm准分子光科技在半导体制造领域的多元(duōyuán)应用，共同探讨合作机会。 2025 SEMI-e 中国（深圳）国际(guójì)半导体展览会 时间(shíjiān)：2025年6月4-6日 地点：深圳国际会展中心14号馆(hàoguǎn) （本文来源：日照新闻网。本网转发(zhuǎnfā)此文章，旨在为读者提供更(gèng)多信息资讯，所涉内容不构成投资、消费建议。对文章事实(shìshí)有疑问，请与有关方核实或与本网联系。文章观点非本网观点，仅供读者参考。）